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光学系统、曝光装置以及制造器件的方法制造方法及图纸
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文档序号:9462093
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沿着光学系统的光路按照第1光学元件、第2光学元件、第3光学元件以及第4光学元件的顺序配置第1光学元件、第2光学元件、第3光学元件以及第4光学元件,在上述第3光学元件与上述第4光学元件之间形成空间,上述光学系统具备把上述第1光学元件和上述第2...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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