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本发明涉及半导体制造领域，旨在提供区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法。该区熔炉多晶棒保温装置包括设置在多晶棒外部的辅助加热器，辅助加热器的两个端部分别设有接口，接口通过电缆与辅助加热电源相连，辅助加热电源通过信号线依次连接有数据分析模块和红外...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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