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本发明提供了一种掺铝氧化锌薄膜及其制备方法。该掺铝氧化锌薄膜的制备方法包括：将摩尔比为95～99.5:5～0.5的锌源化合物与铝源化合物、溶剂、稳定剂混合搅拌，静置陈化，得到凝胶；将该凝胶在基板上涂膜，干燥，预热处理，然后通入H2+N2、N...
该专利属于深圳市亚太兴实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市亚太兴实业有限公司授权不得商用。

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