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本发明提供了一种提升熔石英光学元件损伤阈值的方法。熔石英光学元件经清洗剂micro-90和水的混合溶液进行清洗，漂洗、喷淋清洗后；通过氢氟酸水溶液刻蚀，漂洗和喷淋清洗。在整个清洗过程中引入40kHz-270kHz多频超声波清洗。本发明可以有...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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