下载一种大型凹面镜片清洗装置及方法的技术资料

文档序号:9454591

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供的一种大型凹面镜片清洗装置包括可旋转推车、毛刷旋转清洗机构、喷淋系统、风刀系统、毛刷清洗装置、清洗管路系统及电控单元。本发明还提供了一种大型凹面镜片清洗方法。本发明具有以下优点:一、本装置各零部件均为常见机械结构,加工装配容易实现...
该专利属于上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。