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新型尺蠖式仿生爬行压电精密驱动平台制造技术
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文档序号:9450921
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本实用新型涉及一种新型尺蠖式仿生爬行压电精密驱动平台,可用于微小型行走机器人、超精密加工、微机电系统等重要科学工程领域。包括动子单元、定子单元和工作台,动子单元包括柔性铰链、精密钳位压电叠堆、精密驱动压电叠堆等。柔性铰链采用数控铣-线切割-...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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