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本实用新型公开了一种晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，特别指一种可控制进气速率、且高洁净效果的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其包含有至少一充气模组、一供气模组、一排气模组及一处理模组，该充气模组上分设有至少一连接供气模组的进气阀件，...
该专利属于陈明生所有，仅供学习研究参考，未经过陈明生授权不得商用。

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