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本发明提供一种垂直裂纹形成方法和垂直裂纹形成装置，其可以形成深且直的垂直裂纹，并通过分割能够得到良好的脆性基板的分割面。所述垂直裂纹形成方法是沿着脆性基板上的形成垂直裂纹的预定线照射激光束，使脆性基板被加热到其熔融温度以下，从形成于脆性基板...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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