下载用多线切割机将多个薄硅片沿径向一次性分切的方法的技术资料

文档序号:943817

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本发明公开了一种用多线切割机将多个薄硅片沿径向一次性分切的方法。包括如下步骤:1)将导线垫片与待分切薄硅片交替紧密叠放成一个整体工件,再将该整体工件粘合在树脂条上;2)将粘好的整体工件固定在多线切割机上,切割线对准相邻导线垫片之间的缝隙,沿...
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