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一种基于印制电路板工艺的微结构等离子器件，该器件微腔由上电极、中间介质层和下电极组成，器件的每一个单元均采用上下电极进行驱动，以绝缘介质环氧树脂材料为基底，在基底的上下表面制作两层铜箔，铜箔边沿和基底边沿之间留一定的安全距离，圆柱形的微腔半...
该专利属于河南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过河南理工大学授权不得商用。

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