温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种阻变存储器的制备方法，所述的阻变存储器包括依次组装的底电极、阻变介质层材料及顶电极，所述的阻变介质层材料的制备包括以下步骤：首先按顺序将第一前驱体、第一惰性气体、第二前驱体、第二惰性气体通入反应器中，经过热原子层沉积的一个循...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。