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双层薄膜残余应力测试结构制造技术
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下载双层薄膜残余应力测试结构的技术资料
文档序号:9433358
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本发明提出了一种双层薄膜材料残余应力的测试结构,其中测量单元为圆柱支撑的第一层薄膜圆盘结构,在第一层薄膜圆盘平面上覆盖有另一层薄膜材料形成双层薄膜圆盘结构,在第一层薄膜圆盘边缘直径方向上延伸出一个直梁,直梁末端有一投影游标。利用简单双层薄膜...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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