温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于定向凝固领域，特别涉及一种多晶硅定向凝固的工艺控制方法，在硅料熔化后，通过单独调节上部加热装置、中部加热装置和下部加热装置的温度，进行硅体长晶和退火冷却，最后取锭即可。本发明可以最大限度的利用炉体空间，节约设备投资成本。同时，通过...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。