下载一种半导体晶片机械环保抛光剂的技术资料

文档序号:9430507

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本发明公开了一种半导体晶片机械环保抛光剂,其特征在于,包括下列重量份数的物质:二氧化氯11-16份,盐酸2-4份,氧化铜1-3份,氧化锌3-5份,锌粉1-2份,氧化铅1-2份,酒石酸1-3份,羟乙基纤维素2-6份,苯甲酸甲酯1-3份,聚乙烯...
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