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采用共烧结法制备石英陶瓷坩埚高结合强度的氮化硅涂层制造技术
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下载采用共烧结法制备石英陶瓷坩埚高结合强度的氮化硅涂层的技术资料
文档序号:9429697
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本发明公开了一种采用共烧结法制备石英陶瓷坩埚高结合强度的氮化硅涂层,其原料组分及其重量百分比含量为:氮化硅粉95~98%,纳米二氧化硅粉2~5%,以PVP水溶液作分散介质;利用氮化硅涂层浆料对于生坯的渗透及涂层与生坯的共同烧结达到增强结合强...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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