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本实用新型的一种增强型狭缝光波导光栅FP腔光学生化传感芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体，中心狭缝槽位于基体长度方向的中心轴线上，长度与基体所述中心轴线相等，增强狭缝槽对称分布与中心狭缝槽两边，方向与中心...
该专利属于成都谱视科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都谱视科技有限公司授权不得商用。

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