下载一种薄膜挺度测试装置的技术资料

文档序号:9421757

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本申请公开了一种薄膜挺度测试装置,包括夹具、传感器、静电棒和检测平台,夹具的输出端与检测平台承接,检测平台在距离起点X距离的水平位置处具有一个固定角度的斜向下的斜面,传感器设置于该斜面处,静电棒设置于检测平台的正上方。本申请的薄膜挺度测试装...
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