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本发明提供一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的制备方法及利用一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器以及包括该薄膜体声波谐振器的滤波器、振荡器和射频模块,其中的谐振器利用铁电材料的电致伸缩效应,通过改变外加直流电压的大小,控制铁电材料应力的变化,...该专利属于张家港恩达通讯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过张家港恩达通讯科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的制备方法及利用一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器以及包括该薄膜体声波谐振器的滤波器、振荡器和射频模块,其中的谐振器利用铁电材料的电致伸缩效应,通过改变外加直流电压的大小,控制铁电材料应力的变化,...