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一种磁悬浮分子泵用磁轴承与电机一体化控制系统,包括DC/DC电源模块、电机与磁轴承一体化控制装置、信号隔离功放电路、电机功率主电路、电机电流电压检测与反电势过零检测调理电路、霍尔传感器检测电路、磁轴承电流位移检测电路,电机功率主电路包括三相...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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