下载掩模支撑框架和具有掩模支撑框架的掩模组件的技术资料

文档序号:9407634

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提供了一种用于支撑掩模的掩模支撑框架,所述框架被配置为固定掩模的两个端部并沿第一方向向所述掩模施加张力。所述框架包括:框架主体,限定用于暴露所述掩模的构图开口区的开口;以及端部张紧器,联接至所述框架主体,并被配置为沿与所述第一方向相交的第二...
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