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隔离衬底层两面薄膜的方法及异质结太阳能电池制备工艺技术
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文档序号:9407560
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本发明公开了一种隔离衬底层两面薄膜的方法,该方法的步骤如下:1)在衬底层正面和/或背面的四周并且靠近衬底层边缘的部位光刻出向外凸起的光刻胶窄线;2)在衬底的正面和背面分别依次生产相应的薄膜层;3)在形成太阳能电池的银栅极工序之前,采用有机溶...
该专利属于常州天合光能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州天合光能有限公司授权不得商用。
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