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本发明涉及使用应力源层部分的剥脱方法。提供了一种使用位于基础衬底的最上表面上的一部分但不是全部上的至少一个应力源层部分剥脱基础衬底的局部区域的方法。该方法包括提供具有均匀厚度和跨过整个基础衬底的平面最上表面的基础衬底。在基础衬底的最上表面的...该专利属于国际商业机器公司;阿卜杜勒阿齐兹国王科技城所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司;阿卜杜勒阿齐兹国王科技城授权不得商用。