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本发明涉及一种带电粒子束透镜。带电粒子束透镜包括板状阳极、板状阴极和设置在阳极与阴极之间的绝缘体。绝缘体、阳极和阴极具有带电束从其中通过的通道部分。高电阻膜在绝缘体的形成通道部分的内侧面或绝缘体的最外侧面上形成，并且，阳极和阴极通过高电阻膜...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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