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本发明公开了一种微波离子源，包括波导、放电室、励磁线圈、真空室、引出系统，其中波导通过微波窗同放电室的一端相连，放电室周围缠绕励磁线圈，另一端的离子出口与真空室相通，在离子束引出的通道上设置引出系统，引出系统将离子从放电室引出形成束流，所述...
该专利属于中国原子能科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。

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