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本发明提供一种真空精密位移装置，包括：底法兰(1)；顶法兰(2)；连接二法兰的波纹管(7)；用于安装顶法兰(2)的位移台(3)，顶法兰(2)能够相对位移台(3)平动；用于驱动顶法兰(2)的运动机构，其包括第一运动装置(5)和第二运动装置(6...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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