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在一边使基板与辊式清洗构件分别旋转一边使其相互接触以对基板进行清洗的清洗机构中，高效率地对基板进行清洗，清洗性能得到综合性提高，而且使考虑逆向汚染的必要性显著降低。本发明的方法是一边使在基板（W）的直径的大致全长上直线状延伸的辊式清洗构件（...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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