温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于将微波功率供应给多个微波等离子体反应器的微波功率传输系统（8），所述微波功率传输系统包括：调谐器（14），所述调谐器（14）配置为联接到微波源（4）上并且配置为使所述多个微波等离子体反应器的阻抗与所述微波源的阻抗相匹配；以及波导管接...
该专利属于六号元素有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过六号元素有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。