下载LED外延的生长方法以及通过此方法获得的LED芯片的技术资料

文档序号:9382806

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本发明提供了一种LED外延的生长方法,包括衬底的预处理、生长缓冲层、生长不掺杂GaN层、生长掺杂Si的N型GaN层、生长多量子阱发光层、生长电子阻挡层、生长掺Mg的高温P型GaN层以及退火的步骤;生长不掺杂GaN层步骤具体包括:A、升高反应...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

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