下载光罩传送盒的充气座结构的技术资料

文档序号:9371080

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本实用新型涉及一种光罩传送盒的充气座结构,其摆置有一光罩传送盒,且光罩传送盒上分别设有至少一进气用的气阀及至少一排气用的气阀;充气座结构由一承载板构成,承载板上分别形成有对应进气用及排气用的气阀的嵌槽,嵌槽的进气槽及排气槽间分别形成有相互连...
该专利属于陈明生所有,仅供学习研究参考,未经过陈明生授权不得商用。

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