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本实用新型公开了一种研磨装置，包括：工作台；设置于工作台之上的第一研磨单元和第二研磨单元；机台，用于承载基板在工作台上运动，经过第一研磨单元和第二研磨单元对基板进行研磨；机台包括第一机台和第二机台，第一机台承载基板经过第一研磨单元对基板进行...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司授权不得商用。