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本发明提供一种能够使隔膜的性能保持稳定的泵装置。上述泵装置具有一端连接在隔膜上且另一端连接在驱动机构上的驱动部件，驱动机构侧的一端反复沿着第1轴方向进行往复运动和沿着第2轴方向进行摆动。于是，会产生如下问题：由于隔膜侧的一端沿着第1轴方向与...
该专利属于ULVAC机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ULVAC机工株式会社授权不得商用。

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