下载具有氧化物半导体薄膜层的层叠结构的制造方法的技术资料

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一种层叠结构,其特征在于,其为包含氧化物层和绝缘层的层叠结构,其中,所述氧化物层的载流子浓度为1018/cm3以下,平均晶体粒径为1μm以上,所述氧化物层的晶体以柱状配置在所述绝缘层的表面。...
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