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本发明提供了一种调测硅片切割中旧砂浆使用比例的方法，首先设定一组工艺条件，在该工艺条件下逐渐增加旧砂浆的使用比例，直至得到的切割硅片产品质量发生波动，确定临界旧砂浆使用比例，并测量此时的极限微粉含量范围，碳化硅的磨损破碎极限范围。针对不合格...
该专利属于英利集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利集团有限公司授权不得商用。

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