下载一种沟槽电荷补偿肖特基半导体装置及其制备方法的技术资料

文档序号:9336820

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本发明公开了一种沟槽电荷补偿肖特基半导体装置,其中具有电荷补偿结构,当半导体装置接一定的反向偏压时,第一导电半导体材料与第二导电半导体材料可以形成电荷补偿,提高器件的反向阻断特性;通过沟槽上部引入电极金属,可以降低半导体装置接反向偏压时肖特...
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