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本发明提供了一种柔性电阻式MEMS温度传感器阵列及其制备方法，所述传感器阵列包括固定基体、柔性基体、温度敏感薄膜、传感器电极、柔性覆盖层和电导线；所述传感器阵列制备方法的步骤包括固定基体材料上表面溅射或热蒸发一层金属牺牲层、在牺牲层上旋涂P...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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