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线性度测试装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:9312222
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本发明是一种线性度测试装置,包含受控模块及控制模块。受控模块因应控制讯号,以依据预设坐标于待测物上产生移动轨迹,读取移动轨迹所回报的坐标,并依回报坐标产生回授讯号。控制模块,因应回授讯号,并透过勾股定理或法线定理算法比较回授讯号与控制讯号,...
该专利属于杨志沅所有,仅供学习研究参考,未经过杨志沅授权不得商用。
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