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线圈和用于制造线圈的方法。公开了一种制造电子器件的方法和一种电子器件。在实施例中，该方法包括在隔离层中形成开口，各向同性地蚀刻该开口，从而形成具有弯曲侧壁的扩展开口，并且在开口中形成导电材料。...
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