下载半导体装置、测量设备以及校正方法的技术资料

文档序号:9294917

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本发明提供一种能以高精度对振荡器的起因于温度的振荡频率的误差进行校正的半导体装置、测量设备以及校正方法。该半导体装置具有:振荡器(28),以固有的频率进行振荡;半导体集成电路(30),集成有温度传感器(58)和控制部(60),所述温度传感器...
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