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一种自动开关实验仪器真空系统的装置,该装置包括电压传感器(1)、水压传感器(2)、低真空计(3)、高真空计(4)、机械泵转速传感器(5)、机械泵电流变送器(6)、分子泵转速变送器(7)、温度变送器(8),计算机(9)和可编程的控制器(10)...该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。
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一种自动开关实验仪器真空系统的装置,该装置包括电压传感器(1)、水压传感器(2)、低真空计(3)、高真空计(4)、机械泵转速传感器(5)、机械泵电流变送器(6)、分子泵转速变送器(7)、温度变送器(8),计算机(9)和可编程的控制器(10)...