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气闸和带有气闸的涂覆装置制造方法及图纸
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下载气闸和带有气闸的涂覆装置的技术资料
文档序号:9281000
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本发明涉及一种用于分离两个气室的气闸,其使得可以以最小的空间消耗在不接触产品/离析物/输送系统的情况下实现气体分离。根据本发明的气闸的特征在于,在气闸的流动通道中存在至少一个用于操纵流动的器件。本发明同样涉及一种涂覆装置,其包括根据本发明的...
该专利属于弗劳恩霍弗应用技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过弗劳恩霍弗应用技术研究院授权不得商用。
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