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本发明公开了一种表面缺陷检测设备，该表面缺陷检测设备包括具有上表面的台架单元，在该上表面上布置有主体；至少一个光源单元，该至少一个光源单元根据检查条件移动并将检查光照射至所述主体的表面上；成像单元，该成像单元接收从所述主体的表面发射的光并捕...
该专利属于三星电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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