下载涂覆基板的设备以及涂覆基板的方法的技术资料

文档序号:9268106

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本申请公开一种用于涂覆基板的设备以及用于涂覆基板的方法,所述设备包括:水平涂覆单元,该涂覆单元具有入口和出口,基板经由所述入口和出口水平地移入和移出,并且该涂覆单元通过水平浸涂法使用涂覆液体涂覆基板的表面以形成保护层;以及刮板单元,该刮板单...
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