下载多悬臂梁微波功率传感器的技术资料

文档序号:9263221

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本实用新型公开了一种多悬臂梁微波功率传感器,包括衬底、设置在衬底上的微带线、悬臂梁锚区和多个压焊块,悬臂梁锚区和压焊块分别设置在微带线的两侧,微带线的上方设置有多条相互平行、悬空的悬臂梁,多条悬臂梁与微带线相垂直且长度不等,悬臂梁的一端设置...
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