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本实用新型提供了一种基片加热炉，其包括圆筒形的炉体，所述炉体外壁设置有隔热层，其特征在于：所述炉体内设置与所述炉体同轴的环形电加热丝，及连接所述电加热丝的电极。本实用新型的基片加热炉优化了电加热丝的布局，设置多组电加热丝，且环形设置在炉体内...
该专利属于苏州圆芯光机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州圆芯光机电科技有限公司授权不得商用。

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