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本实用新型公开了一种热丝化学气相沉积装置，包括电控柜，所述电控柜通过控制线分别连接有CVD镀膜室、冷水机和气源，所述CVD镀膜室分别与冷水机、气源相连接，所述CVD镀膜室上还连接有真空获得系统。本实用新型解决了现有技术中因基片上方温度不均匀...
该专利属于苏州圆芯光机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州圆芯光机电科技有限公司授权不得商用。

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