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基于纳米结构的互联线和散热器制造技术
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下载基于纳米结构的互联线和散热器的技术资料
文档序号:9254609
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本发明提供了在导电或绝缘基底上生长的纳米结构,及其生长方法。根据权利要求的方法生长的纳米结构适用于电子器件的互连线和/或散热器。...
该专利属于斯莫特克有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯莫特克有限公司授权不得商用。
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