下载一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置的技术资料

文档序号:9253670

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本发明公开了一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置,包括4f光学信息处理系统,在4f光学信息处理系统的系统输入面上设置有待测棱镜,在4f光学信息处理系统的频谱面上设置有一用于消弱零级频谱的低通振幅型滤波器,在4f光学信息处理系统的系统输出平...
该专利属于中国石油大学(华东)所有,仅供学习研究参考,未经过中国石油大学(华东)授权不得商用。

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