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本发明公开了一种基于微机械直接热电式功率传感器的分频器及其制备方法，包括衬底、设置在衬底上的地线、MEMS功合器、共面波导传输线、两组MEMS固支梁结构和MEMS直接热电式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器和乘法器；MEMS功合器用于将输...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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