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本发明公开了一种光掩模清洗机及其清洗方法，该光掩模清洗机包括去离子水喷射单元、气体干燥单元、旋转马达，所述光掩模清洗机还包括与离子水喷射单元、气体干燥单元和旋转马达相连的中央控制器和执行控制模块。本发明光掩模清洗机及其清洗方法通过显示屏的G...
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