下载一种斜沟槽超势垒整流器件及其制造方法的技术资料

文档序号:9224206

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本发明公开了一种既不增加光照次数、又能克服寄生JEFT效应的斜沟槽超势垒整流器件,包括:半导体基板,半导体基板的上部为第一导电类型漂移区,其表面为第一主面,半导体基板的下部为第一导电类型衬底,其表面为第二主面;第一主面上设置有至少一个斜沟槽...
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